選址準則：無塵車間地址的選擇應符合有利出產、便利生活、節省出資和經營費用的準則。廠址應設在自然環境和水質較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌形成的小氣候有利于出產、節能的區域,應遠離很多散發粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導風向的優勢旁邊面,且有一定的防護距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上。

動線規劃關鍵：要反省剖析人車途徑、配管體系、排氣管道、質料轉移和作業的流程等，盡量縮短動線，并防止穿插，以防止穿插污染。作業者、化學藥品、資料等動線勿會集；無塵車間四周，宜設緩沖區；制造設備的收支，不要對作業發生大影響。

有些空氣凈化體系的空氣，如經處理仍不能防止穿插污染時，則不能循環使用：固體物料的破壞、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序；用有機溶媒精制的質料藥精制、枯燥工序；放射性藥品出產區；病原體操作區；工藝過程中發生很多有害物質、揮發性氣體的出產工序；固體口服制劑的顆料

節能準則：無塵車間里存在很多能夠節省能源的地方，例如暖氣、通風和空調（HVAC）、工藝冷卻、緊縮空氣以及一些其他的設備。 HVAC體系耗費的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以形成很多糟蹋電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在規劃和締造工廠時走捷徑，盡可能地緊縮前期投入，而不管后期運轉費用。高效率的規劃和高效率設備需求很大的前期投入。那種“小處節省大處糟蹋”的所謂捷徑和減少成本，會形成工廠的運轉功能下降和能耗添加。 對已建成工廠的改建通常會墮入到毫無意義的經濟漩渦傍邊